فیلتر های هوا از نوع فیبری ( رشته ای )
از ورود اغلب ذرات تولید شده در منابع خارجی و با استفاده از فیلتراسیون صحیح هوا به داخل اتاق تمیز جلوگیری می شود . بر اساس تکنولوژی حاضر دو نوع فیلتر با راندمان بالا وجود دارد یکی از فیلترهای هوا با راندمان بالا ( High Efficiency Particule Air ) و ( Hepa ) دیگر فیلتر های هوا با درجه نفوذ بسیار پایین (Ultra Lowlow Penetration Air ) ( Ulpa ) برای ساخت هر نوع فیلتر HEPA و اولپا ULPA از تکنولوژی کاغذ با الیاف نازک شیشه ای استفاده میکنند . تکنولوژی ساخت الیاف شیشه ای با قطر کم محدود بوده و بین 1/0 تا 3/0 میکرون متغییر است . لذا فیلتر های اولپا و هپا به ترتیب برای گرفتن ذرات با قطر 12/0 تا 13/0 میکرون کاربرد دارند .
کنترل الگوی جریان هوا Air Pattern Control
اغتشاش جریان هوا در داخل اتاق تمیز به شدت تحت تاثیر چگونگی هوای ارسال شده و هوای برگشت ونیز تردد افراد و چگونگی چیدن تجهیزات می باشد انتخاب الگوی جریان هوایی مناسب اولین اقدام برای طرح یک اتاق تمیز خوب است . عواملی هم چون نیاز کارفرما به درجه تمیزی خاص اتاق چیدن تجهیزات مرتبط با کارداخل اتاق , فضای موجود برای نصب تجهیزات کنترل کننده الگوی هوا تجهیزات کنترل کننده محیط و ..
الگوهای مختلفی برای جریان هوا وجود دارد .
1_ جریان غیر تک جهتی هوا ( جریان مغشوش مینامند ) Non-Unidirec
2_ جریان هوای تک جهتی Unidirectional Air Flow
3_ الگوی جریان هوا و اغتشاش
جریان هپا در سیستم تک جهتی جریان هوا تحت کنترل قرار میگیرد اتاق تمیز با جریان بالا به پایین دارای پوشیده از فیلتر های ( HEPA ) می باشد و هوا با سرعت ( 0/45 m/s ) برابر با FPM در تمام سطح مقطع اتاق حرکت می کند .