ساخت اتاق تمیز پروژه نیمه هادی
احداث اتاق تمیز پیشرفته ساخت قطعات نیمه‌هادی و میکروالکترونیک
حوزه فعالیت: ادوات سیلیکونی و تراشه‌ها
کلاس تمیزی: ISO Class 5 (Class 100)
سیستم کف: کف کاذب مشبک (Raised Floor)
روشنایی: زون اختصاصی فوتولیتوگرافی (Yellow Light)
شرح و چالش‌های پروژه
صنعت نیمه‌هادی نیازمند سخت‌گیرانه‌ترین استانداردهای عدم وجود ذرات و آلاینده‌های مولکولی معلق در هواست. برای دستیابی به جریان هوای آرام و بدون تلاطم، ساختار جریان هوای عمودی سراسری (Laminar Downflow) همراه با خروجی از زیر کف در این کلین‌روم اجرا گردید.
مشخصات فنی و دستاوردهای مهندسی
- پوشش سقفی FFU: پوشش سقف کاذب شبکه‌ای کلین‌روم تا بیش از ۷۰٪ مساحت با ماژول‌های FFU بازده بالا.
- کف کاذب آلومینیومی: صفحات مشبک کف کاذب برای خروج یکنواخت هوا بدون ایجاد جریان‌های گردابی روی ویفرها.
- روشنایی زرد (Yellow Room): پنل‌های نوری زرد فاقد امواج فرابنفش برای فرآیندهای فوتولیتوگرافی و محافظت از رزین‌های حساس به نور.